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AR 光波導(dǎo)鏡片激光切割機|衍射光波導(dǎo)皮秒激光精密切割量產(chǎn)設(shè)備

發(fā)布人:創(chuàng)軒激光小軒發(fā)布時間:2026-08-18

【摘要】:

AR 光波導(dǎo)鏡片激光切割機,采用皮秒超快激光冷加工,用于 AR 衍射光波導(dǎo)、陣列光波導(dǎo)、高折玻璃、碳化硅光波導(dǎo)鏡片精密切割裂片,小崩邊保護納米光柵鍍膜,支持 4?12 英寸晶圓量產(chǎn)與打樣,咨詢獲取工藝方案。

隨著 AR/AI 智能眼鏡產(chǎn)業(yè)快速爆發(fā),光波導(dǎo)鏡片作為 AR 眼鏡的核心光學(xué)元器件,直接決定整機成像效果、視場角與穿戴體驗 華工激光 。衍射光波導(dǎo)、陣列光波導(dǎo)基材以高折射率超薄玻璃、鍍膜光學(xué)玻璃、碳化硅、樹脂光波導(dǎo)為主,基材脆性大、表面帶有精密納米光柵,傳統(tǒng)機械切割極易出現(xiàn)崩邊、微裂紋、光柵損傷、良品率低等痛點,制約光波導(dǎo)鏡片規(guī)?;慨a(chǎn)落地 華工激光 。 

AR 光波導(dǎo)鏡片激光切割機,專為 AR 衍射光波導(dǎo)、陣列光波導(dǎo)鏡片研發(fā),采用皮秒 / 飛秒超快激光冷加工技術(shù),非接觸式加工,熱影響區(qū)極小,有效保護鏡片表面納米光柵與鍍膜層,實現(xiàn)小崩邊、低應(yīng)力、無裂紋的高質(zhì)量切割與裂片加工,滿足晶圓級量產(chǎn)與小批量研發(fā)打樣雙重需求。

 一、行業(yè)加工痛點 

  1. 基材特殊:高折玻璃、碳化硅硬度高、脆性大,超薄基材易碎裂;表面納米光柵、鍍膜層不能受熱損傷,傳統(tǒng)切割極易破壞光學(xué)功能結(jié)構(gòu)。

  2. 品質(zhì)嚴苛:光學(xué)鏡片對崩邊、裂紋、邊緣毛刺零容忍,微小崩邊會直接造成鏡片報廢,拉高生產(chǎn)成本 華工激光 。 

  3. 異形輪廓多:光波導(dǎo)鏡片多為異形、曲面輪廓,對定位精度、輪廓跟隨能力要求極高。 

  4. 量產(chǎn)需求:既要滿足實驗室打樣,又要適配 4?12 英寸晶圓批量加工,兼顧效率與良率。  

AR 光波導(dǎo)鏡片激光切割機|衍射光波導(dǎo)皮秒激光精密切割量產(chǎn)設(shè)備

二、設(shè)備核心優(yōu)勢 

  1. 超快激光冷加工,保護光柵鍍膜,搭載皮秒 / 飛秒超快激光器,冷加工模式,幾乎無熱效應(yīng),不燒蝕、不損傷鏡片表面衍射光柵、光學(xué)鍍膜,杜絕熱裂紋,保障鏡片光學(xué)性能不受破壞。

  2. 微米級高精度,極小崩邊大理石龍門平臺 + 直線電機 + 高清 CCD 視覺定位系統(tǒng),定位精度高,切割崩邊可控,切面平整光滑,減少后續(xù)拋光工序,大幅提升產(chǎn)品良率 大族激光 。適配超薄 0.2mm?2mm 光波導(dǎo)基材,支持異形、圓弧、開孔、外輪廓精密切割。

  3. 切割?裂片一體化方案集成激光劃線、定向裂片工藝,切割劃線后精準分離鏡片,降低碎片風(fēng)險;真空吸附載臺穩(wěn)固固定超薄鏡片,加工過程不劃傷光學(xué)面。

  4. 兼容多類型光波導(dǎo)基材適配衍射光波導(dǎo)(SRG)、陣列幾何光波導(dǎo)、樹脂光波導(dǎo)、高折玻璃晶圓、鍍膜光學(xué)玻璃、碳化硅光波導(dǎo);支持片料、4?12 英寸晶圓加工,兼顧研發(fā)打樣與全自動量產(chǎn)產(chǎn)線對接。

  5. 量產(chǎn)級自動化能力可選自動上下料、雙工位交互作業(yè),提升加工效率;自主研發(fā)專用光學(xué)加工軟件,DXF、Gerber 文件直接導(dǎo)入,支持圖形編輯、批量排版;可對接 AOI 檢測,適配無塵車間生產(chǎn)環(huán)境,7×24 小時穩(wěn)定運行。 

三、主要應(yīng)用 

? AR 衍射光波導(dǎo)鏡片、陣列光波導(dǎo)鏡片輪廓切割、劃線裂片 

? 高折射率光學(xué)玻璃晶圓、鍍膜玻璃精密切割 

? SiC 碳化硅光波導(dǎo)、樹脂光波導(dǎo)樣品與量產(chǎn)加工 

? AR/MR 近眼顯示光學(xué)元件、光學(xué)棱鏡異形切割 

? 科研院所、光學(xué)企業(yè)樣品打樣,光波導(dǎo)產(chǎn)線批量生產(chǎn)  

四、工藝參數(shù)參考 可按需定制機型與配置  

? 激光器:皮秒紅外 / 紫外、飛秒超快激光可選 

? 加工基材:高折玻璃、鍍膜玻璃、碳化硅、光學(xué)樹脂 

? 適配尺寸:片料|4?12 英寸晶圓 

? 加工厚度:0.2?2mm 

? 定位精度:±3μm 

? 加工效果:小崩邊、無熱損傷、無微裂紋,保護表面光柵鍍膜  

五、總結(jié) 

AR 光波導(dǎo)鏡片激光切割機解決傳統(tǒng)機械切割的崩邊、裂紋、光柵損傷等行業(yè)難題,以超快激光冷加工實現(xiàn)高精度、高良率的光波導(dǎo)鏡片切割裂片,助力 AR 光學(xué)企業(yè)從樣品研發(fā)走向大規(guī)模量產(chǎn),加速 AR 智能眼鏡產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化進程。 歡迎咨詢獲取工藝打樣、設(shè)備配置、產(chǎn)線集成方案。

相關(guān)機型:玻璃激光切割機

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